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成都净化公司:无尘洁净室技术应用?
浏览: 发布日期:2017-04-20

无尘洁 净室的气流速度/换气次数,一直是 洁净室设计中受到关注的问题,随着洁 净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提 出的推 荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用 中人们担心的噪音、损坏维 修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用 FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中 已日益提到日程上来,受到关注。以下对 这些问题的情况分别作归纳和分析。

   无尘洁 净室内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净 室用途等具体情况而异,它不仅 受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响,就工业洁净室而言,影响洁 净度及选择气流速度的因素主要是:

  (1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材 料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;

  (2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受 到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单 向流要求充混合,避免死角及温度分层。

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